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研磨面平工作面平面度測量的不確定度

標簽:鎂鋁輕型平尺|鎂鋁直角尺|鎂鋁刀口尺
測量原理
非接觸式技術光波干涉法,與一已知平面(參考平面)比較法測量。
測量方法
采用等傾干涉法。在等傾干涉儀中用210mm長平晶與200mm的研磨面平尺整段比較測量或與330mm的硬座面平尺分段比較測量,得到的測量值修正長平晶工作面平面度后,按小條件計算得到研磨面平尺工作面的平面度。
測量程序
1. 用平面等傾干涉儀(裝置)測量研磨面平尺平面度。
2. 210mm長平晶做標準器。
3. 等傾干涉儀做比較使用
4. 兩個1mm量塊研合在長平晶兩端做支撐用
5. 研磨面平尺放置在檢定室內溫度平衡時間不少于10h
6. 長平晶與研磨面平尺放置在食品內的溫度平衡時間,對于200mm研磨面平尺和210mm長平晶不少于1h,對于330mm研磨面平尺和210mm長平晶不少1.5h。
測量條件
1.平面等傾干涉儀(裝置)經檢定符合JJG661-2004《平面等傾干涉儀檢定規程》要求。
2.210mm長平晶的規程符合JJG28-2000《平晶檢定規程》要求。
3.210mm長平晶工作面平面度符合JJG28-2000《平晶檢定規程》要求,且具有修正自重變形影響后平面度數據證書。
4.經檢定兩塊1mm量塊的尺寸差小于0.1um。
5.檢定室溫度:(20±5)度,溫度變化不得超過0.1C/H 和1C/24H
6.檢定室內的溫度與食品保溫箱內的溫度之關小于0.2度。
7.測溫儀的分辨力:0.01度。
8.長平晶的制造材料費是k9光學玻璃,研磨面平尺是鋼制的。
9.操作人員是經過培訓的,且熟悉平面等傾干涉儀(裝置)的使用。
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